光刻胶主要组分分为树脂、感光剂、溶剂及表面活性剂等添加剂。溶剂主要使光刻胶各组分分散其中,使光刻胶具备流动性,当前半导体和面板光刻胶所用溶剂主要为PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯,亦简称PMA);树脂与感...
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